SAL1000G是一款包含手套箱小型桌面ALD原子层沉积系统，具有良好的均匀性及*的阶梯覆盖性能，使用户能够精确控制每个原子层的沉积。通过手套箱，可在惰性气体环境下进行操作，并且可以防止吸入纳米级颗粒。该设备是小型且经济实惠的型号，与主机和控制电源相结合，追求仅在桌面上更容易操作。 它能够处理多达4“晶圆的沉积，并对每个部件采取安全措施。